真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，真空系統(tǒng)將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
1、真空系統(tǒng)盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路無阻，但真空系統(tǒng)要考慮清洗清掃的方便性。
3、認真設(shè)計真空室內(nèi)各連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路順暢，避免氣路堵塞。
4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，不用采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈就可符合要求。但是，考慮到實際工作條件的需要（真空室內(nèi)溫度可達2300oC，密封部位進行水冷后，真空系統(tǒng)其溫度在80oC左右，個別處溫度可達100oC以上）。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，真空系統(tǒng)同時要有強度、硬度和彈性等。
轉(zhuǎn)載請注明出處：
http://m.smilingtoes.com
蘇公網(wǎng)安備32021102002825號
