在電工產品行業如變壓器、互感器、電容器等真空干燥的工藝過程中，要求真空腔體在某一特定壓力范圍能抽除大量的水蒸氣和溶劑，而且在干燥終止時，要達到較低的壓力。
比如一臺中型變壓器，其中絕緣材料的含水量達400～500 kg，整個干燥周期為70h，要求真空系統在45 mbar的入口壓力下，在48h內抽除90%～95%的含水量，即每小時蒸氣的能力要在15kg左右，而且在干燥結束后仍然恢復到原有的壓力10-2 mbar。
一、蒸汽處理裝置原理
（1）在真空狀態下，當水或蒸汽的溫度高于沸點時，它們是以氣體狀態進入泵腔。
（2）滑閥泵本身是一個加熱源，液環泵是給滑閥泵的分離器提供一個低壓，所以排出到分離器的水或其他蒸汽亦是處在真空狀態，而且溫度高到可以使它們保持在氣體狀態，微小的液滴都會在分離器內被蒸發。
（3）排到液環泵的水或其他蒸汽，由于液環泵內的溫度比較低，它們被冷凝后成為密封液的一部分。
為了不讓蒸汽在泵內被冷凝，這種泵的油溫要夠高，一般設定在60～75℃范圍，而高于80℃的油溫會使真空泵油被氧化，這個所要求的油溫可以通過自動調節進人到滑閥泵的冷卻水量來控制。
假如在處理水蒸氣時，滑閥泵工作在65℃，則安裝在滑閥泵排氣管道上的真空溢流閥要設定在15 000～20 000 Pa，即低于水在65℃下的飽和蒸汽壓。
油泵在真空狀態下要能夠正常運行，油壓要保持在0.2～0.4 MPa，連續供油。
二、蒸汽處理裝置優點
1、能處理大量可凝性氣體或揮發性氣體。
2、被抽蒸汽不會在泵中被冷凝，減少了對金屬表面的腐蝕。
3、不讓油污染，換油次數大大減少，運行成本減少。
4、消掉了由于油被污染所造成的性能減少現象。
5、在濕式工藝中能維持低的工作壓力。
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